这是一次解耦性的架构改变，有望使晶圆厂的光刻车间从“机器+光源”转为“光源中心+扫描器集群”。
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这是一次解耦性的架构改变，有望使晶圆厂的光刻车间从“机器+光源”转为“光源中心+扫描器集群”。
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